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深圳证券交易所

股票代码:002819

股票代码

SZ002819

400-650-5566

SENTECH SE800DUV DUV/VIS/NIR光谱椭偏仪

sentech SE800DUV DUV/VIS/NIR光谱椭偏仪

光谱范围: 190 nm - 950 nm

  SE 800 DUV 针对要求苛刻的应用而设计,如玻璃上的极薄透明膜,平板印刷中的光刻胶材料和减反射膜,透明或吸收基底上的多层膜,高级微电子应用比如SOI,ONOPO和高k值材料。各向异性材料和非均匀样品也能够被分析。

  SE 800DUV 是基于在紫外-可见光-近红外波段的快速二极管阵列探测器高性能光谱椭偏仪,能够快速获得数据并在全波段解析,配置了高精度延迟器和电脑控制起偏器。SE 800DUV基于步进扫描分析操作原理。分析器由光栅和光电二极管阵列组成。

  SE 800DUV的深紫外概念被设计针对低散射光线,对低反射样品也有很高灵敏度。

主要应用
  ·测量单层膜或多层膜的厚度和折射率。
  ·测量化合物薄膜,比如SiOxNy, AlGaN
  ·在紫外-可见光-近红外波段测量材料的光学性质
  ·测量指数梯度
  ·测量膜表面和界面间粗糙程度
  ·确定材料成分
  ·分析较厚的膜,厚度范围可到30微米
  ·适合测量In搀杂半导体材料 (InP, InGaAs, InGaAlAs, InN)

选项
  ·紫外光谱扩展选项,280 - 850 nm
  ·近红外光谱扩展选项,1700 - 2300 nm
  ·电脑控制高性能消色差补偿器,针对紫外-可见光波段
  ·电脑控制起偏器
  ·电脑控制自动角度计, 40º-90º, 精度0.01º
  ·手动x-y载物台,150 mm行程
  ·电机驱动x-y载物台,行程50 mm - 200 mm, SENTECH地貌图扫描软件
  ·透射测量样品夹具
  ·摄象头选项,用于样品校准和表面监测
  ·液体膜测量单元
  ·反射式膜厚仪 FTPadvanced, 光斑直径80 mm
  ·微细光斑选项
  ·自动对觉选项,结合地貌图扫描选项
  ·SENTECH 标准样片
  ·附加许可,使 SpectrRay II 软件可以用于多台电脑

光谱椭偏仪软件SpectraRay II
  SpectraRay II 操作软件基于windows系统,包括全面的的建模、仿真和拟合软件包,操作向导,自动输出结果,单键操作,使软件界面友好并使椭偏仪操作简易。

  通过操作向导,能够使操作变得简单。操作向导能够指导用户完成标准测量过程:测量数据、惊醒拟合并输出结果。 操作向导能够将复杂的测量、拟合设置变德简易。
  SpectraRay II 软件也能够进行反射光谱测量和透射光谱测量。

  报告向导能够自动完成将测量结果输出到一个web文件。
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